摘要：请详细阅读本说明书，并妥善保存，以备日后维护时参考 。 1-1 风机过滤器单元 风机过滤器单元（FFU ）是一种 自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装 置 。 风机从 FFU 顶部将空气吸入并经 HEPA 过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导